工業用流量測定・制御

NALL トランスデューサー

超低圧力損失 0 - 10 sccm から 0 - 15,000 slm 計測レンジ

NALLシリーズ、線形質量流量計は、ガスの圧力と温度を補正または補正することなく、質量流量を正確に測定できるように設計されています。NISTトレーサブル校正証明書が標準です。

清浄なガスを使用する通常の動作条件下で定期的なメンテナンスを必要としません。 中程度の過圧、オーバーフロー、または液体溶剤の使用による損傷は発生しません。

 

NALL パワーサプライ

高温200°C、連続オペレーション可能

流路はすべて金属で構成されており、Oリングは含まれていません。 また、トランスデューサーは電子回路から分離されているため、高温やその他の悪環境アプリケーションに最適です。

電源は、明るいデジタルディスプレイを備えており、キャビネットまたはパネルに取り付け可能なケースに収納されています。

HFM-200 LFE

超低圧力損失 0 - 10 sccm から 0 - 15,000 slm 計測レンジ

HFM-200 LFEシリーズは、幅広いアプリケーションで構成でき、ガス流量を正確に測定できます。 信頼性と安定性を特徴とする200シリーズは、さまざまな周囲条件で非常に安定した性能を発揮するためにユーザーから選ばれています。 エラストマーシールの幅広い選択肢により、この流量計はほとんどのガスと互換性があります。

計測範囲は0〜10 sccmから0〜15,000 slmです。 アナログ出力を提供し、ステンレス鋼で構成されています。 フルスケール範囲はエンドユーザーが指定します。 NISTトレーサブル校正証明書が標準です。 酸素サービスの清掃が可能です。 当社の層流要素(スムーズ、ねじ付き、またはフランジ付き)は、3/8 "から8"までのさまざまなサイズで利用できます。 フルスケールフローでの圧力降下が小さい。

 

パネルマウント型インジケーター

リニア電気出力信号のため、流量計はトータライザやレコーダでの使用に最適です。

アプリケーション

• 蒸着
• リークテスト
• ガス混合
• 半導体プロセス
• 毒性の測定および有害ガス
• 高温、高圧力、気密密封

THCD-101 コントローラー

イーサネットポート採用・シングルチャネル制御

THCD-101は多機能のプロセスディスプレイコントローラーで、マスフローメーター、マスフローコントローラーなど、プロセストランスデューサーに直接接続できます。

THCD-101は、バイポーラ(±15Vdc @ 300mA)またはユニポーラ(24Vdc @ 400mA)デバイスへの電力供給に使用できるシングルチャネルユニットです。最大10 VDCまたは4〜20 mAの電流信号を提供するトランスデューサからの出力を表示できます。外部コマンド(セットポイント)制御(+ 10V)に使用できる入力もあります。

質量流量計、マスフローコントローラー、静電容量圧力計を含む真空計、および線形圧力トランスデューサーを操作できます。使いやすいフロントパネルのメニューインターフェイスをナビゲートします。

THCD-401 コントローラー

4チャネル制御と多彩な I/O ポート

THCD-401は、柔軟で、多くのプロセスでの使用に適応できるように設計された、多機能のプロセスディスプレイコントローラーです。

最大4つのメインチャンネルに対応しています。流量コントローラーの操作や圧力トランスデューサーからの出力の表示に使用できます。これらのデバイスに±15 VDCまたは+24 VDCのいずれかで電力を供給することもできます。

インターフェースには、イーサネット、RS232(USB経由)、またはアナログ信号だけで使用できます。関連する単位でプロセス変数を表示できるグラフィカルLCDディスプレイを備えています。エンジニアリングユニットはすべて、フリーテキスト入力で対応できます。 ディスプレイはまた、設定のための使いやすいメニュー構造を可能にします。