オゾン濃度測定

モデル 452 は、酸素または空気中の高濃度のオゾンを正確かつ信頼性をもって測定するためのマイクロプロセッサーベースのガスセンサーです。 測定原理は 254nm の UV 光の吸収に基づいています。 測定値は重量%、またはグラム/標準立方メートルで表示されます。 絶対温度 3 Bar までの温度および圧力補正が標準機能です。

コンパクトなサイズにより、プロセス用途への設置が容易です。フロー パターンはストレート スルー設計 (ターンやエルボを排除) で、露出表面積が減少します。452 は、狭い帯域のスペクトル感度を持つ検出器を使用しており、UV バンドの必要性がありません。 紫外線や湿気によって劣化しやすいフィルターを通過させます。

2 つの検出器が使用されます。1 つはオゾン測定用、もう 1 つは UV ランプの強度の変化を補正するためです。 この独自の設計により、校正やメンテナンスを行わずに長期間動作するセンサーが提供されます。 センサーの動作または故障モードを示す 4 つの光絶縁ステータス出力も備えています。

入出力および電源入力の接続は、15 ピン D-sub コネクタを介して行われます。 高純度アプリケーションの場合、452 マニホールドは 316L、10Ra 仕上げ、および 1/4 インチ VCR フィッティングで利用できます。

測定濃度範囲：0 - 5, 0 - 10, 0 - 15, 0 - 20,​ 0 - 25% w/w; 0 - 100, 200, 300, 400, 500 g/Nm3

モデル 430 O3 モニターは、実証済みの UV 吸収原理を使用したコンパクトな機器です。 設置面積が小さく堅牢な設計なので、携帯性と精度の両方が必要なさまざまなアプリケーションに最適です。

測定濃度範囲：Min: 0 - 100 ppb Max: 0 - 20,000 ppb

• 当社の人気の工業用オゾン製品ラインで使用されている実証済みの紫外線吸収ベンチ
• 最高品質の施工
• ハンドル付きの頑丈で軽量な ABS ポリカーボネート製シャーシ
• ポータブルで低電力の監視アプリケーションに最適
• 広い動作範囲

モデル 452 は、酸素または空気中の高濃度のオゾンを正確かつ信頼性をもって測定するためのマイクロプロセッサーベースのガスセンサーです。 測定原理は 254nm の UV 光の吸収に基づいています。 測定値は重量%、またはグラム/標準立方メートルで表示されます。 絶対温度 3 Bar までの温度および圧力補正が標準機能です。

コンパクトなサイズにより、プロセス用途への設置が容易です。フロー パターンはストレート スルー設計 (ターンやエルボを排除) で、露出表面積が減少します。452 は、狭い帯域のスペクトル感度を持つ検出器を使用しており、UV バンドの必要性がありません。 紫外線や湿気によって劣化しやすいフィルターを通過させます。

2 つの検出器が使用されます。1 つはオゾン測定用、もう 1 つは UV ランプの強度の変化を補正するためです。 この独自の設計により、校正やメンテナンスを行わずに長期間動作するセンサーが提供されます。 センサーの動作または故障モードを示す 4 つの光絶縁ステータス出力も備えています。

入出力および電源入力の接続は、15 ピン D-sub コネクタを介して行われます。 高純度アプリケーションの場合、452 マニホールドは 316L、10Ra 仕上げ、および 1/4 インチ VCR フィッティングで利用できます。

測定濃度範囲：0-1 ppm to 0-500 ppm

モデル 465M は、水処理、食品加工、研究用途におけるプロセス オゾン濃度を測定するためのマイクロプロセッサ ベースの中範囲オゾン モニターです。 この設計は、水処理コンタクターのオフガス測定など、大気圧に近い圧力でのオゾンの測定を必要とするアプリケーション向けに特に最適化されています。 モデル 465M は、メンテナンスや校正をほとんどまたはまったく行わずに、長期間にわたって正確で安定した読み取り値が得られるように設計されています。 モデル 465M は、NEMA 4X 壁面取り付けエンクロージャで入手できます。

モデル 465M に含まれるセンサー モジュールは、非常に狭い帯域のスペクトル感度を持つ検出器を使用しているため、UV や湿度によって劣化しやすい UV バンドパス フィルターが必要ありません。 2 つの検出器が使用されます。1 つはオゾン測定用、もう 1 つは UV ランプの強度の変化を補正するためです。

内蔵診断機能は、動作パラメータが範囲外の場合に警告信号を発します。 モデル 465M の動作中にテスト値を表示できます。 これらの表示、警告、自己診断とモジュラー設計により、稼働時間を最大限に高めることができます。 さらに、フロントパネルから設定または監視できる機能はすべて、リモートで設定または表示できます。双方向 RS-232 ポート経由。

測定濃度範囲：0-1000​​ ppm to 0-10,000 ppm

モデル 465H は、水処理、食品加工、研究用途におけるプロセスガス流中のオゾンを測定するためのマイクロプロセッサベースの高濃度オゾンモニターです。 465H は、メンテナンスや校正をほとんどまたはまったく行わずに、長期間にわたって正確で安定した読み取り値を提供できるように設計されています。 モデル 465H は、NEMA 4X 壁面取り付けエンクロージャで入手できます。

モデル 465H に含まれるセンサー モジュールは、非常に狭い帯域のスペクトル感度を持つ検出器を使用しているため、UV や湿度によって劣化しやすい UV バンドパス フィルターが必要ありません。 2 つの検出器が使用されます。1 つはオゾン測定用、もう 1 つは UV ランプの強度の変化を補正するためです。 このユニークな設計により、校正やメンテナンスを行わずに長期間動作するセンサーが提供されます。

測定濃度範囲：0-5 to 0-25% w/w

内蔵診断機能は、動作パラメータが範囲外の場合に警告信号を発します。 モデル 465H の動作中にテスト値を表示できます。 これらの表示、警告、自己診断とモジュラー設計により、稼働時間を最大限に高めることができます。 さらに、フロントパネルから設定または監視できる機能は、双方向 RS-232 ポートを介してリモートで設定または表示することができます。

モデル 454 は、酸素または空気中の中濃度から高濃度のオゾンを測定するためのマイクロプロセッサーベースのガスモニターです。
4 桁 LED ディスプレイを備えた標準 DIN パネル マウント構成で利用可能で、コンパクトな設計により取り付けと設置が容易です。

454 シリーズは、0 ～ 5% w/w ～ 0 ～ 25% w/w、0 ～ 100 g/Nm3 ～ 0 ～ 500 g/Nm3 のフルスケール範囲で利用可能で、国際オゾンに従って工場で校正されています。 協会の基準。 測定原理は 254nm の UV 光の吸収に基づいています。 オゾンを含むサンプルが吸収セルを通過すると、波長 254nm の UV 光にさらされます。 オゾンによる吸収量は、狭帯域幅の UV 検出器によって測定されます。

基準検出器はランプ出力を測定し、光強度の変化を補正します。 この方法では、狭スペクトル UV 光源と狭帯域幅検出器を使用するため、追加の UV フィルターを必要とせずに優れたパフォーマンスと安定性が得られます。

454 シリーズには、標準条件に正規化された測定値を生成する温度および圧力補正が含まれています。 フロントパネルのキーパッドには濃度またはセル圧力が表示され、LED はモニタリングステータスを示します。 このユニットは最先端のマイクロプロセッサー設計を採用し、オゾンプロセスの正確で信頼性の高いモニタリングを提供します。

測定濃度範囲：0-5% w/w to 0-25% w/w

SCI-552 は、オゾン発生器、EV バルブ、マスフロー コントローラ、背圧コントローラ、Teledyne API 452 オゾン センサー、Teledyne API などの多くの一般的なシステム コンポーネントに電子制御インターフェイスを提供するオゾン供給システム用のシステム コントローラです。 470 個の溶存オゾンセンサーと冷水器。

SCI-552 は、多数のシステム インターロック機能に対するハードウェアおよびソフトウェアのサポートを備えています。 SCI-552 はエンド ユーザーに柔軟性を提供し、フロント パネル ユーザー インターフェイス、MODBUS シリアル インターフェイス、またはさまざまなディスクリート デジタルおよびアナログ I/O ポイントを介してシステムを制御できます。 SCI-552 は、2 つの独立したオゾン出力チャンネルを提供する 2 つのオゾン発生器をサポートするように設計されています。

• RS-232 MODBUS リモートサポート
• 最大 2 台のオゾン発生器を制御
• 最大 2 つのモデル 452 およびモデル 470 オゾンセンサーとのインターフェース
• 最大 4 台のマスフローコントローラーを制御
• 最大 2 つのバックプレッシャー コントローラーを制御
• 最大 2 つの EV バルブを制御
• 冷水器を制御
• システムインターロック入力
• リモートのシステムレベルの制御とステータス I/O

モデル 470 は、半導体ウェットベンチ ツールやその他の多くの産業プロセス向けに設計された最先端の溶存オゾン センサーです。 脱イオン水または硫酸浴中の溶存オゾンを最大 150 mg/L の濃度で連続測定します。 モデル 470 は高純度半導体プロセスに「クリーン対応」しており、最大 150 SLPM の流量であらゆるウェット ベンチ ツールの再循環ループにインラインで簡単に接続できるように設計されています。

モデル 470 センサーには、革新的なデュアル光路サンプル検出技術が組み込まれており、比類のないパフォーマンスを提供し、基準液測定の必要性を事実上排除します。

一般的な設置は、470 センサーと相互接続するテフロン 7 被覆ケーブルで構成されます。 470 センサーには、アナログまたはデジタル信号を介して測定されている濃度をウェットベンチ コンソールにリモートで報告する機能が含まれています。

• 現場モニタリング
• インライン、フルフロー機能
• 直進流路
• 可動部品なし
• 消耗品なし
• 最大 150 mg/L の範囲高精度紫外線吸収法
• デュアル光路サンプルセンシング技術
• 定期的なメンテナンスは不要です
• 半導体グレードの接液部材料
• コンパクトなFRPP筐体
• テフロン7ジャケット相互接続ケーブル
• リモートゼロ校正

モデル T703U は、精密ガス分析装置用のマイクロプロセッサ制御のオゾン校正器です。 オゾン監査レベルの拡大により、標準校正器の能力をはるかに下回る正確なオゾン校正の必要性が生じています。 モデル T703U は、超低オゾン生成の要件を満たすように設計されています。

モデル T703 と同様の性能を備えた高範囲に加えて、モデル T703U は低範囲、つまり「フラクショナル」モードでオゾンを生成する機能を備えており、非常に高い精度で 3 ppb までのオゾン レベルを生成します。 流量とランプの強度は、体積で指定されたオゾン濃度を供給するように調整されます。 モデル T400 オゾン分析計と同じ温度および圧力補償光度計は、UV ランプ強度のフィードバック制御を提供し、安定したオゾン出力を保証します。 ほぼ無制限の数の校正シーケンスを T703U の不揮発性メモリにプログラムでき、最長 1 年の期間をカバーできます。

すべての T シリーズ機器は、高度なカラー ディスプレイ、静電容量式タッチ スクリーン、直感的なユーザー インターフェイス、柔軟な I/0、および内蔵データ収集機能を備えています。 すべての機器のセットアップ、制御、および保存されたデータと診断情報へのアクセスは、フロント パネル、または RS232、イーサネット、または USB COM ポートを介して、ローカルまたはリモート接続で行うことができます。

モデル T703U には NumaView™ ソフトウェアが付属しています。 NumaView™ リモート PC ソフトウェアを使用すると、NumaView™ ソフトウェアを操作するアナライザへの仮想インターフェイスとデータ ダウンロード機能によるリモート接続が可能になります。

NumaView™ プレミアム T シリーズ ソフトウェアを使用

• 大きく、鮮やかで耐久性のあるカラー タッチスクリーン ディスプレイ
• 電話と電子メールによる無期限のテクニカル サポート
• その他すべての T シリーズ計測器プラットフォームの機能

オゾンの利用は環境にやさしい消毒や酸化の方法のひとつですが、過剰または残留するオゾンを安全に破壊することが非常に重要です。CAT-O3 シリーズのオゾンは、高濃度のオゾンガスを、推奨されるオゾン安全限界を下回るサブ ppm レベルまで安全に分解します。
触媒分解法では、金属酸化物触媒を使用してオゾンを酸素に受動的に変換します。 CAT-O3 シリーズのオゾン破壊器は、熱シールドで保護された溶接されたステンレス鋼の筐体で作られています。 これらは、業界の厳しい安全性能要件を満たすように慎重に設計されています。

特長

• 全溶接構造
• 自己完結型
• 素早い反応時間
• 消耗品不要
• メンテナンス不要
• 簡単な設置

アプリケーション

CVD TEOS/オゾン ALD MOCVD アッシャー ウェットベンチ スプレーツールなど